中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9192252 を販売中

ID: 9192252
ウェーハサイズ: 8"
MOCVD Chambers, 8" (2) Gas boxes.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ Reactorは、半導体業界において比類のないプロセス制御と精度をユーザーに提供するために設計された最先端の化学蒸着(CVD)装置です。このシステムは、高度な技術を駆使して最適なプロセス制御と製品品質を実現し、歩留まりとコスト効率を最大化しながら長期的な生産性を向上させます。AMAT Endura TxZ Reactorは、超低熱質量(ULTM)ジェネレータチャンバーと基板キャビネットを備えています。この設計は寄生損失を最小限に抑え、熱性能を最大化し、熱サイクル時間を大幅に短縮し、高いプロセス速度を提供します。革新的なマルチゾーン温度制御ユニットは、個々の温度ゾーンを微調整することにより、制御精度をさらに最大化し、非生産的なプロセス時間を短縮します。さらに、オンボード圧力ブースターにより、サーマルサイクル時間がさらに短縮され、スループット率が向上します。高品質のデバイス生産を確保するために、アプライドマテリアルズEndura TxZ Reactorは、ソース温度、設置高さ、回転速度、動作時間、ガス混合物、ガス流量など、すべてのパラメータの絶対的なプロセス制御と再現性を提供します。さらに、現場でのプロセス分析と制御、総圧力制御、リアルタイム分光、画像認識システム、定量分析など、多くの高度なプロセス監視および制御ツールを統合するように設計されています。Endura TxZ Reactorには、自動圧力解放システムや原子炉安全シャットオフ機構など、さまざまな安全機能が組み込まれています。これにより、ユーザーの安心を確保し、施設内のオペレーターや同僚に追加のレベルのセキュリティを提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ Reactorは、半導体アプリケーションの高度なプロセス制御に最適な機能を提供します。このツールの高度な技術により、迅速なサーマルサイクルタイム、プロセスの再現性、優れた製品品質の結果が保証されるため、ユーザーは資産に依存して最適なプロセスパフォーマンスとコスト削減を実現できます。
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