中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura SL #293819858 を販売中
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ID: 293819858
ウェーハサイズ: 8"
PVD System, 8"
Sputter etching
(2) SIP-TI Channels
(3) Channels
No MG Rotation assembly
No DC Cable
No RF Cable
No CH-A Stage
No ESC
No DC Sputter power supply
No RF power supply
No Dry Pump
No BEC Terminal
No Mg Motor
No Magnet
No Lift cylinder set
No Matching box
No Turbo controller.
AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALS Endura SL Reactorは、高度な半導体製造プロセスに複雑で精密な材料を埋め込むための選択肢です。この原子炉は、従来のアプローチに比べて信頼性と精度が向上し、特殊な材料を埋め込むための前例のない精度を提供します。AMAT Endura SLは、高度な垂直カスケードインプラントチャンバー（VCIC）技術と、正確なインプラント再生を可能にする優れた均一性と制御機能を備えて設計されています。さらに、原子炉のこの変形には、ウラン受動プロセスを支援するSMARTCoater技術が含まれています。SMARTCoater技術はまた、原子炉の効率を高め、総サイクル時間を短縮することができます。さらに、APPLIED MATERIALTS Endura SL Reactorは、全体的に改善された酸化、パッシベーション、および埋め込みプロセスとともに、30％低いエネルギー要件を可能にし、粒子数を削減します。Endura SLは、ウエハーロックの最適化、リトラクタブル基板サポート、Load on the Fly （LOTF）機能など、プロセスを強化するためのさまざまな新機能を統合しています。リトラクタブル基板は、埋め込みプロセスの均一性を向上させる一方、LOTF機能により、複数の基板をトータルサイクルタイムに影響を与えることなくロードおよびアンロードすることができます。これにより、原子炉の生産性が向上し、1時間あたりのコストが低下します。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura SLリアクターには、安全で安全なスケーラブルなオートメーションシステムを搭載したカスタマイズ可能なユーザーインターフェイス（UI）も含まれています。このUIを使用すると、ユーザーは正確な仕様に合わせてセットアップとカスタマイズを簡単に行うことができます。さらに、UIは、包括的で実践的なプロセス評価のためのさまざまなデータキャプチャ、分析、およびレポート作成ソフトウェアと互換性があります。特にAMAT Endura SLは、廃棄物、有毒な排出量、コストを削減します。この原子炉は、多くの前化学的および後化学的プロセスを置き換えることにより、従来の埋め込みプロセスの効率と精度レベルを向上させます。アプライドマテリアルズEndura SLは、大量のアプリケーション用に設計されており、歩留まりの向上と生産性の向上をもたらします。また、環境への影響を大幅に低減するために、化学物質の排出量と消費量を厳密に監視するため、原子炉は環境に対する肯定的な資格を有しています。結論として、Endura SL Reactorは複雑で精密な材料を製造するための強力なツールです。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura SLは、高度な技術を使用することで、埋め込みプロセスのより高い精度と改善された制御を可能にし、リソースと毒性排出量を削減します。
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