中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura PVD #9213370 を販売中

株式会社アマット。Endura Physical Vapor Deposition （PVD）リアクターは、さまざまな薄膜材料の精密な蒸着を可能にするために設計されたマルチチャンバーツールセットです。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PVD装置は、電子部品および相互接続、光電子デバイス、振動MEMSデバイス、および高度な太陽電池の製造など、幅広い用途で使用できます。システムはモジュール式で、さまざまなプロセス要件に合わせてさまざまな構成が可能です。AMAT Endura PVDユニットは、シングルまたはダブルチャンバーのマシン構成の中央クラスタの周りに構築されています。各チャンバーには、トリメチルアルミニウム（TMA）バイポーラ源、電子サイクロトロン共鳴源、鉄橋マグネトロン源、イオン化クラスター光源などのPVD源が含まれています。その後、ソースは連続的に動作温度に引き上げられ、クローズドループ熱制御ツールは蒸着プロセスの期間中、正確な温度安定性を維持します。その後、広範囲のポンプ速度を持つ高性能ターボポンピングアセットを使用して、チャンバーを避難させます。チャンバは、入射源の材料の高精度なフラックス制御を提供するように設計されており、非常に均一な薄膜蒸着を可能にします。APPLIED MATERIALTS Endura PVDシステムでは、プロセス制御も利用できます。アクチュエータやモーションコントローラも用意されており、幅広い基板形状やサイズの成膜が可能です。さらに、XPS （X-ray photoelectron spectroscopy）やSIMS （secondary ion mass spectrometry）などの高度なインライン計測機能を搭載することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PVDモデルは、蒸着レシピとプロセスの高い再現性を備え、高スループット性能を実現するように設計されています。迅速なツール交換、迅速なプロセスウェーハスキャン、迅速なウォームアップ時間により、重要なアプリケーションのスムーズな生産が保証されます。このツールセットは、基板の互換性、最高温度の均一性、および「エッジ効果」がないという点で、ハイエンドの結果を保証するように設計されています。AMAT Endura PVD装置は、高密度、低コスト、および高性能の薄膜製品およびコンポーネントの製造をサポートするように構成できる多目的で精密な蒸着技術を提供し、絶えず変化する技術環境で競争力を維持することができます。