中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura PreClean #293623456 を販売中

ID: 293623456
PVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PreCleanリアクターは、半導体産業で使用される蒸着システムです。薄膜で基板を均等に被覆するように設計されています。原子炉の高度な設計により、作成された層が均一な分布と優れた接着性を有することが保証されます。AMAT Endura PreClean原子炉は、4チャンバー昇華チャンバーを使用して目標の結果を達成します。内部の高真空チャンバーは、底部に3チャンネルのインジェクタを備えた石英管で構成されています。このインジェクタは、チューブを介してソース材料を分散させ、材料を蒸気に昇華させることができます。原子炉で使用される原料の速度と種類を制御することで、材料を基板に正確な厚さで適用することができます。水晶チューブの下部にある3チャンネルのインジェクタは、ソース材料の導入のために3つの独立した開口部を持っています。各開口部は個別に制御され、各材料の正確な堆積を可能にします。インジェクタはゲートとして機能し、各材料のパターンと間隔を溶融して適用するように制御します。応用材料Endura PreClean原子炉には、低圧、低温のチャンバーがあります。この2番目のチャンバーは、材料を基板に安定して均一に堆積させるのに役立ちます。一定の温度と圧力を維持することにより、材料は半固体状態に保たれ、均等に分散して基板に押し込むことができます。Endura PreClean原子炉の3番目のチャンバーは、高温高圧チャンバーです。このチャンバーは、堆積プロセスの余波として機能します。それは材料が硬化して固体になることを可能にし、材料と基質の間の強い結合を保障します。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PreCleanの4番目と最後のチャンバーは、家具室です。このチャンバーは、コーティング後に基板をきれいにして磨くために必要なツールと機器を提供します。この部屋の使い捨て可能性は研磨剤、磨く代理店および保護手袋を含んでいます。AMAT Endura PreCleanリアクターの最先端の技術により、半導体産業の基板コーティングに効果的な選択肢となります。4チャンバー設計と材料沈着の速度とパターンを正確に制御することで、原子炉は基板上の均一で効果的な層を確保することができます。
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