中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura Pre Clean Chamber #9009003 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura Pre Clean Chamberは、シラン蒸着の化学蒸着（CVD）プロセス中に高レベルのウェーハ洗浄を提供するように設計された自動ポリシリコン反応器です。この特殊原子炉は、蒸着プロセスが始まる前にウェーハを効果的に洗浄するために使用され、汚染を排除し、一貫した高品質の蒸着結果を保証します。プリクリーンリアクタチャンバーは円筒形で、複数のウェーハを同時に収容できるように設計されており、スループットの向上とサイクル時間の短縮を可能にします。チャンバー内には複数のガスインジェクタが配置されており、ウェーハ表面にシランとリアクタントガスの均一な分布を促進します。洗浄工程全体で均一な温度を確保するために、チャンバー全体が避難し、加熱されます。洗浄プロセス自体は自動化され、いくつかの段階で構成されています。まず、シランを加熱してインジェクターに通し、ウェーハ表面にリアクタント粒子を均一にコーティングします。次に、ウェーハをあらかじめ決められた温度に加熱し、酸化物の形成と分解を開始します。このプロセスは、存在する表面汚染物質を効果的かつ迅速に除去し、CVD処理のためのウェーハを準備するのに役立ちます。事前クリーニングが完了すると、チャンバーはパージされ、非酸化ガスで加圧されます。これは、チャンバーから取り外してCVDユニットに戻す間、ウェーハを酸化およびさらなる汚染から保護するのに役立ちます。AMAT Endura Pre Clean Chamberは、ウェーハ洗浄ソリューションに関して優れた選択肢であり、一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供します。