中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9389807 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、半導体および太陽光発電デバイスの薄膜コーティングおよび成膜に使用されるプラズマ強化化学蒸着（PECVD）炉です。この原子炉は、優れたピクセル充填と高スループットで均一なフィルムを提供することができます。AKT Endura IIは信頼性の高い設計で、さまざまなプロセスに対応する幅広いプロセスウィンドウを備えています。装置は、パワーモジュール、ガス分配モジュール、プロセスチャンバーの3つの主要コンポーネントで構成されています。電源モジュールには、プラズマエネルギー源、高圧電源、プラズマイグニッションコントローラが含まれています。このシステムにより、プラズマ温度と密度を正確に制御し、再現性と再現性のある結果を得ることができます。ガス分配モジュールは、プロセスガスをチャンバーに分配し、プロセスガスの圧力と流れの両方を制御する責任も負います。プロセスチャンバー自体は、使いやすい制御ユニットを備えた堅牢で信頼性の高い設計で設計されており、ほとんどすべての蒸着プロセスに幅広いプロセスウィンドウを提供します。この機械は、最大41インチの成膜装置を取り扱うことができ、アモルファスシリコンまたはシランガスを使用する場合、最大500オーングストローム/分の連続成膜速度を可能にします。また、各成膜後にチャンバーをクリーニングする自動パージツールも提供します。さらに、AMAT Endura IIには、範囲外のプロセスパラメータを監視および検出するための堅牢な安全資産が含まれています。このモデルは、広い処理窓を必要とする精密な成膜を必要とする太陽電池などの半導体アプリケーションに最適なソリューションです。大面積の薄膜成膜に最高のスループットを提供し、再現性と信頼性を確保します。これは、半導体または太陽光発電デバイスの正確で均一なコーティングを保証するメーカーにとって重要です。