中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9387985 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIリアクターは、半導体製造業界の高度な反応プロセス向けに設計された最先端の低圧高真空（LVHV） CVDシステムです。薄膜成膜、エッチング、誘電成膜、金属接触加工、金属/酸化エッチング選択性、ウェハクリーニングなど、さまざまな複雑な化学および物理プロセスを実行することができます。AKT Endura IIリアクターは、業界をリードする高精度の真空システムを備えており、2X10-7 Paの基圧まで到達することができます。その堅牢な設計は、蒸着プロセスの正確な性能のために圧力、温度、ガスの流れなどの正確な制御を保証する高度なコントローラと洗練されたセンサによって補完されています。AMAT Endura IIリアクターは、堆積プロセスを含むために大きな石英チャンバーを使用しています。チャンバーシールは、所望の反応を達成した後、プロセスガスの効率的な抽出を可能にします。水晶部屋の壁に造られる発熱体は均一な厚さおよびよりよい付着を保障するために沈殿プロセスの間に基質に均等に熱を供給します。複数のガス入口が石英チャンバーのサイドウォールに組み込まれており、堆積プロセスに必要な異なる材料の前駆体を容易にします。このチャンバー設計は、長い成膜サイクルの後でも均一な成膜を実現するのにも役立ちます。APPLIED MATERIALTS Endura IIはまた、空気の突然の爆発で原子炉を停止し、最終製品の品質をもたらす複数の空気圧焼入れシステムを備えています。さらに、この原子炉には、蒸着プロセスとその変数を制御および監視するためのマルチゾーン高精度の自動プロセス制御システムが含まれています。最後に、Endura IIリアクターは、デバイスの歩留まりと生産スループットを向上させる高いプロセス能力を備えています。幅広い機能を備えたAMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIリアクターは、半導体産業の先端材料の開発に最適なツールです。