中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9379805 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、集積回路の製造に使用される高性能な蒸着システムです。この原子炉は、コンパクトで洗練された真空環境で動作し、ポリシリコン、酸化物、アルミニウム、チタン、窒化物などの幅広い材料の堆積を可能にします。AKT Endura IIリアクターは、最適な蒸着特性を確保するためにデュアルスパッタ源を備えており、高度なデバイス生産に適したプラットフォームとなっています。AMAT Endura II Reactorは、信頼性と強力な蒸着ツールを実現する革新的な設計機能を備えています。この原子炉は、極端な温度安定性のためにほぼ密閉された完全なチャンバーエンクロージャを備えており、背景汚染を低減します。この原子炉の内部には、ばね負荷ターゲットと、反応ガスの優れたイオン化を提供するデュアルソース、マルチマグネットアセンブリがあり、均一で高密度のプラズマをもたらします。この堆積物の均一性により、優れたフィルム特性を有する材料の効率的で信頼性の高いドーピングが可能です。また、最適化されたマグネトロン設計により、粒子が基板に戻るのを防ぎ、スパッタ汚染を最小限に抑えます。アプライドマテリアルズEndura IIリアクターには、多くの安全機能もあります。高度なガスラック監視システムは、適切なガスのプリコンディショニングと混和を確保するために、トリプル供給とパージ経路で設計されています。これにより、閉塞、ガス漏れ、およびその他の潜在的な危険のリスクが軽減されます。高度なデジタルコントローラーシステムは、圧力と温度のリアルタイム調整を提供し、洗練されたパラメータの最適な制御を保証します。これにより、全成膜厚と均一性を正確に制御することができます。Endura II炉の汎用性は、その最強の利点の1つです。デュアルソース設計と優れたイオン化により、さまざまな材料に優れた成膜均一性を提供します。この多目的ツールは、単一のサイクルで高速で複数のソーススパッタシーケンスを実行でき、デジタルコントローラはパラメータベースの操作で最高レベルの制御を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactorは、複数の安全性と性能を備え、半導体業界で最も先進的な成膜ツールの1つです。