中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9379779 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9379779
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2019
PVD Systems, 12" Chamber 2019 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、AKTが半導体産業のために設計・製造した原子炉です。リアクティブイオンエッチャー(RIE)は、可変周波数励起、200 mm (7。87インチ)ウェーハ容量、サンプルステージクォーツQリング、各種エンドポイント検出センサを搭載したマシンです。AKT Endura IIマシンは、半導体産業のために設計されたケミカルエッチャーの一種で、半導体産業の要求に応える効率的で費用対効果の高いソリューションです。0。1〜10 μ m/minまでのETCHレートを備えたAMAT Endura IIは、サイドウォール絶縁構造、RIE酸化物、窒化物、ポリシリコン、各種金属、酸化物、窒化物など、幅広い材料のエッチングに最適です。プロセスチャンバー、クォーツQリング、トップ、PCBAボード、ボトム、ジェネリックガスアセンブリ、ACBLイオンソース、プロセスチャンバーアセンブリで構成されています。アプライドマテリアルズEndura IIは、さまざまなエッチングプロセスやエッチングガスに対応するために、幅広い真空レベルを提供することができます。可変周波数の機械的励起電源も原子炉に含まれています。Endura IIリアクターのQリングは、サンプルの均質なエッチングを確保し、横方向のエッチングを防止するために、サンプルホルダー上のサンプルをさまざまな角度で回転させるように設計されています。また、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、混合ガスとプロセスガスを多数使用して、圧力、温度、RF電力などの他のパラメータを生成し、適切なRIEエッチングを保証します。さらに、AKT Endura IIはコンピュータ制御であり、エッチング処理を管理するために様々なソフトウェアプログラムを使用しています。これにより、エッチング工程を精密に制御し、様々な材料で望ましい結果を得ることができます。さらに、AMAT Endura IIは、圧力、電力、負荷、温度を正確に測定するためのエンドポイント検出センサを多数備えています。APPLIED MATERIALS Endura IIは、200mmウェーハ容量とさまざまなエンドポイント検出センサーを備えた効率的で費用対効果の高いリアクティブイオンエッチャーです。半導体業界向けの幅広いエッチング用途を備えた信頼性の高い精密機械です。
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