中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9372759 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは半導体バッチ処理用の非接触・非破壊型バッチ炉です。この原子炉は、半導体部品の迅速な開発、効率的なスケーリング、再現可能な再現性のある生産を可能にするように設計されています。1台あたりの生産コストが低く、費用対効果の高いプラットフォームを提供します。この原子炉は、UHV鉛シールドプロセス装置のみを使用して、半導体粒子の汚染や周辺環境の汚染を最小限に抑えるように設計されています。クリーン性、再現性、正確なウェーハアライメントにより、高精度で信頼性の高い半導体製造が可能です。さらに、コストのかかる再設計や長い起動時間の必要性も低減します。この原子炉には、クリーンルームの条件を容易にし、汚染を低減するために、多数の垂直炉とガス浄化システムが装備されています。その作業室はまた、生産プロセスからの電磁干渉を低減するために、銅箔シールドに囲まれています。この原子炉は、直径8インチまでの最大3000ウェハを収容することができる大きなチャンバーを持っています。さらに、このチャンバーはバックガス拡散を最小限に抑えるように設計されています。垂直リフトシステムにより、ウェーハの迅速な積み降ろしが可能です。また、ウェーハの正確なバッキング距離制御を可能にし、低粒子レベルを確保します。AKT Endura IIは、蒸発、スパッタリング、酸化、蒸着、アニーリング、エッチング、レジストストストリップなど、さまざまなプロセスを実行できます。モジュラー設計により、追加のin-situ監視コンポーネントを追加できます。オープンアーキテクチャにより、さまざまなソフトウェアパッケージに統合できます。AMAT Endura IIは、± 0。25°Cの精度でウェーハの温度を正確に調整できるサーボ制御駆動システムにより、精密かつ再現性の高い加工が可能です。これにより、電源の変動や環境条件の影響を受けないことが保証されます。結論として、アプライドマテリアルズEndura IIは、さまざまなプロセスと多数のウェハに対応できる効率的で費用対効果が高く、信頼性の高い半導体バッチ炉です。小さな部品を正確かつ再現的に加工できるため、短時間で高品質な製品を生産する必要がある半導体メーカーにとって理想的なソリューションです。