中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9372655 を販売中

ID: 9372655
PVD System DT ESC Puck for SLT ESC Part number: 0010-41276.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高度な半導体製造プロセスで使用されるように設計された原子炉です。超薄型・超小型半導体膜の製造に使用される物理蒸着(PVD)システムです。AKT Endura IIは、さまざまな基板上に複数の材料を堆積させることができる柔軟で汎用性の高い原子炉です。AMAT Endura IIは多種多様な薄膜デバイスの製造に適した柔軟性を備えています。この原子炉には、最新の半導体アプリケーションの厳しい要件を満たす薄膜と構造の堆積を可能にするいくつかの機能が装備されています。Endura IIは、低圧、シーケンシャルラテラル凝固(SLATE)プロセスチャンバーを備えており、合金化、合金拡散、超薄膜アプリケーションなどの高度な技術を使用して材料の堆積を可能にします。SLATEプロセスは、最大5つの異なる材料を同時に動作させることができ、複雑で設計されたインターフェースを持つ構造物の堆積を可能にします。APPLIED MATERIALS Endura IIには、RFアンプ、ジェネレータ、in-situモニターなど、リアルタイムのプロセス制御用のユーティリティもあります。また、レシピやプロセスを事前にプログラミングしたり、他のシステムからデータを簡単に転送する機能など、ユーザーフレンドリーな機能も備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIはまた、薄膜および構造の特性評価のための広範囲のin-situおよびex-situ計測ツールをサポートしています。薄膜の応力、厚さ、組成、電気的、光学的、表面特性を測定することができます。AKT Endura IIは、高度な半導体製造プロセスのための汎用性と信頼性の高いツールです。使いやすく、様々な基板に材料を堆積させることができます。その堅牢な設計により、経済的なコストで高性能の薄膜を堆積させることができます。
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