中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9363128 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、半導体製造で使用される高度な物理蒸着(PVD)炉です。高い均一性、再現性、高いスループット率を提供するために、厳格なプロセス制御を提供します。高性能マシンであり、プロセスチャンバー、真空装置、プロセス制御システムの3つの主要コンポーネントで構成されています。プロセス部屋は基質を握るための傾き、回転棚が装備されている気密の真空の容器です。製造工程では、基板をロードしてアンロードし、チャンバーを傾けて回転させて基板を傾けて最適なコーティングを行うこともできます。真空ユニットは、チャンバー内のガスの流れを制御し、排出された材料をパージする責任があります。この機械はまた沈殿プロセスの間に真空の下で部屋を保つことを担当しています。3番目の主なコンポーネントは、プロセス制御ツールです。ガスフロー、温度、圧力、基板位置を正確に制御することで、コーティング時の精度と再現性を確保する仕組みです。圧力、キャリアガスフロー、蒸着速度などのさまざまなプロセス変数を検出して監視することができ、所望の結果を達成するのに役立ちます。また、スロットルバルブ、電源システム、プラズマ発生器の制御も担当しており、これらのコンポーネントを最適に動作させることができます。AKT Endura IIは、最先端の半導体製造プロセスでの使用に適した高度レベルのPVD炉です。プロセスチャンバー、真空アセット、およびプロセスコントロールモデルを効果的に組み合わせて、正確なコーティングプロセスを実現し、均一性、再現性、および高スループットレートを保証します。最高のコーティング品質と最高の生産性を実現するための製品です。
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