中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9363126 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、化学蒸着（CVD）プロセスに使用される原子炉です。様々な基板上の様々な厚さの導電層と誘電層の堆積を行うように設計されています。AKT Endura IIは、1-5インチプロセスチャンバーと統合ウエハハンドリングシステムを備えた完全自動化されたCVDシステムを備えています。透明酸化物や導電性酸化物、誘電体、窒化物、炭化物などの材料を製造することができます。AMAT Endura IIは、低圧CVDプロセスを備えた明確に設計された遠隔プラズマ源を使用して、効率とパフォーマンスの均一性を向上させます。この原子炉はリニアスイープと呼ばれる技術を利用しており、様々な基板上の様々な成膜厚さを可能にしています。リニアスイーププロセスは、均一なフィルム成長のための蒸着面積を制限する統合されたHigh-Flux Deflectorのおかげで、制御可能で均一な層を生成します。Endura Plasma Sourceは、複数のガスを同時に走らせることができ、フィルムやコーティングを製造する際の最適な環境の近似を可能にします。アプライドマテリアルズEndura IIリアクターの高いプロセスのスロットリングは、基板全体の温度勾配を低減するのに役立ちます。これにより、ウェーハ全体のコーティング結果の安定性と均一性が向上します。さらに、リモートプラズマ源は材料の成長を加速し、サイクル時間を短縮するのに役立ちます。これにより、CVD炉は高効率レベルに迅速かつ簡単に到達することができます。Endura IIには、高度な自動化、CCDイメージング、ケミカルメトロロジー、ウエハグリップメカニズムなどの機能があり、ウェハ処理作業全体を優れた制御が可能です。このプロセスにより、幅広い材料を非常に高い蒸着率で使用することができます。生産材料の高いスループットと高品質は、AMAT/APPLIED MATERIALTS/AKT Endura IIリアクターをさまざまな基板上に高性能コーティングを製造するための優れたCVDシステムにする主な要因のいくつかです。