中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358618 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIリアクターは、高度な半導体製造プロセスで使用される、信頼性の高い産業用グレードの成膜ツールです。この原子炉は、その堅牢な設計、耐振動性、および長寿命で有名です。AKT Endura IIリアクターは、ベースチャンバー、ロードロック機構、ガス分配システム、イオン源、ターゲット、プラズマ源など、いくつかのコンポーネントで構成されています。ベースチャンバーは、中央ボディと取り外し可能なカバーの2つの部品で構成されています。カバーはすべての部品を一緒に保持し、4つのクイックリリースクランプで密封されていますが、中央ボディは大気圧に耐えることができます。このチャンバーには、圧力、電力、ガス配送ライン用のステンレススチールポートもいくつか含まれています。チャンバーの外側にある真空ポンプは、チャンバー内の圧力制御を可能にします。ロードロック機構は、チャンバーへの非密閉、加熱された入り口を提供します。ロードロックには、入力ドアと出力ドアの2つの部分があります。入力ドアは汚染物質を取り除くように設計されていますが、出力ドアは高圧がチャンバーから逃げるのを防ぎます。ガス分配システムは、ガスラインとガスマスの2つの部分で構成されています。ガスラインは、各ガスの流量を調節し、チャンバー内の圧力を測定するように設計されています。ガスマスは、気体をチャンバー内の目的地に向ける一連のチューブです。イオン源は、成膜室に荷電粒子を導入するように設計されています。これは、電場の適用によって達成され、粒子が源から排出され、ターゲットに向かって移動する原因となります。ターゲットはチャンバー内に配置されたワークです。これは通常、シリコンウェーハなどの基板です。堆積プロセス中、ターゲットはイオンと堆積物で爆撃されます。プラズマ源は、粒子を活性化し、堆積を促進する責任があります。このソースは、高周波電波を使用してプラズマを作成し、チャンバーに誘導します。全体として、AMAT/AMAT Endura IIリアクターは、半導体製造のための強力で信頼性が高く、使いやすいツールです。システムの多くのコンポーネントは、長寿と効率を念頭に設計されており、ユーザーに費用対効果が高く信頼性の高い堆積プロセスを提供します。