中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358613 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高度でコンピュータ制御された化学蒸着（CVD）炉です。この原子炉は、ダイヤモンドとダイヤモンドのような炭素（DLC）膜の堆積に使用されます。ホットウォールサセプターを搭載しており、異なるタイプの材料の内熱蒸着を可能にします。内熱は、本質的に安定化されていないまたは水素安定化されたダイヤモンドおよびダイヤモンド複合システムのいずれかで改善されたフィルム特性を可能にします。AKT Endura IIは、単一の固定ガスフィードに基づいて、炭化水素フィルムの任意の無秩序な相の堆積を可能にします。これには、ダイヤモンド、アモルファスダイヤモンド、アモルファス水素化カーボン、その他の高分子グラフィック材料などの材料が含まれます。CVDプロセスは、2つのガス、典型的には炭化水素と酸化剤の化学反応を含み、AMAT Endura IIは材料が堆積する基板を正確に制御できるように設計されています。Endura IIは、独自のAKTデュアルシャフトコールドウォールロータリーサセプターを使用して、均一なフィルム成長を促進します。デュアルシャフトコールドウォールベルジャーとサセプターのトポロジーは、ダイヤモンド堆積に直面する一般的な問題の多くを回避します。これは、高度に発注された堅牢なサーフェスを必要とする領域での適用に有益な均一な表面トポロジを確保するのに役立ちます。アプライドマテリアルズのユニークな特徴Endura IIは、クローズドループガスインラインモニタリングシステムとあらかじめプログラムされたガス混合モジュールの組み込みです。このシステムは、精密かつ安定したガス混合などのいくつかの利点を提供し、蒸着速度を正確に制御するだけでなく、フィルムの均一性を向上させることができます。原子炉内のガス混合物の定数モニタリングは、望ましい薄膜蒸着特性を達成するために、蒸着プロセスの一定の調整と微調整を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIにはユーザーインターフェイス（UI）も組み込まれています。これにより、制御設定へのリモートで容易なアクセス、すべてのプロセスパラメータの高度な自動化、プロセス条件のリアルタイム監視と評価が可能になります。UIを使用すると、オペレータは品質管理要件に固有のレシピを作成して保存することもできます。AKT Endura IIは、化学蒸着、レーザーアブレーション蒸着、スパッタリングプロセスなど、さまざまな生理化学プロセスをサポートすることができます。その先進的な機能により、AMAT Endura IIは半導体、航空宇宙、バイオメディカル、ナノ材料、自動車など、さまざまな業界で広く使用されています。