中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358612 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIリアクターは半導体製造プロセスで使用されるツールです。Ultra-High Vacuum （UHV）チャンバーを介した化学蒸着（CVD）を使用して、酸化物、窒化物などの薄膜を基板に堆積させます。このCVDプロセスは、堆積した材料の厚さと組成を正確に制御することができ、高品質の電子部品を作成するのに理想的です。AKT Endura II原子炉には、さまざまな材料を扱うように設計されたクライオポンプ式イオン源を備えたUHVチャンバーがあります。チャンバーは、圧力密封することができ、再現性のある結果を確保するための内部測定および制御システムを持っています。プログラマブルロジックコントローラ（PLC）を使用して、プロセスパラメータを管理および制御し、最大限の効率を実現します。AMAT Endura IIには、最大10個のガスを供給できる2つのガスラインと、さらに2つの補助ガスラインが装備されています。ガスラインには、手動、空気圧、またはモーター駆動のバルブを装備することができます。ガスラインは、処理室へのガスの正確な導入と混合を可能にします。Endura IIは、基板が正しく吊り下げられるようにする高度な石英エッチングシステムを備えています。基板を最大1,000°Cの温度に加熱することができ、化学エッチング、熱酸化、イオン爆撃、化学蒸着など、チャンバー内でアクティブなプロセス手順を実行できます。内蔵のプラズマ発生器を使用して低温動作を強化します。アプライドマテリアルズEndura IIは、安全性と使いやすさを念頭に設計されています。ユニットは完全に囲まれ、偶発的な動作を防ぐために安全インターロックが装備されています。PLCは、再現性と再現性のある結果を確保するために、半自動操作のためにプログラムすることができます。このユニットは自己診断を行っており、最高の安全性と正確性を確保するために、一連の自動監視システムを装備しています。