中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358610 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、低圧化学蒸着（LPCVD）プロセス用に設計された生産可能な原子炉です。それは高精度、低いインダクタンスフィラメントの電源、自動化されたサセプターの高さの調節、低雑音軸受けアセンブリ、特許を取られたプロセス部屋のアーキテクチャおよび高い沈着の均等性が装備されています。AKT Endura IIは、プロセス形状を最適化した特許取得済みのチャンバーアーキテクチャを使用して、ガスフローの均一性を最大化し、熱均一性、プロセス再現性、およびプロセス安定性を向上させます。低インダクタンス電源は、電気ノイズを低減するように設計されており、プロセスの潜在的な汚染を最小限に抑え、歩留まりと品質を向上させます。自動化されたサセプターの高さ調整により、正確で再現性のあるウェーハの位置決めが可能になり、膜厚のロット間の変化を低減します。低ノイズベアリングアセンブリは、一貫した環境を維持し、繰り返し可能なプロセスとプロセス品質を向上させるのに役立ちます。AMAT Endura IIは、石英抵抗離陸点、HCl制御バルブ、最大3つの回転ガスバルブなどの機能を備えた、適応性の高いシステムです。それに温度および圧力の広い作動窓があり、標準的な二重RF力の機能を含んでいます。強力なEasyCenturionソフトウェアは、システム間で素早く転送できる自動プロセスレシピを提供し、リモートプロセスの監視とプロセス制御を可能にします。Endura IIの全体的な性能と信頼性により、LPCVDプロセスに最適です。窒化ケイ素やポリシリコンなどの高繰り返し性と高均一性を必要とする製造工程に最適なツールです。強力なEasyCenturionソフトウェアは、研究ベースのアプリケーションにも最適な選択肢であり、新しいプロセスの迅速なプロトタイピングと異なる原子炉間の迅速な転送を可能にします。