中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9351090 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、プラズマ作動条件を動的に制御するために設計された汎用性の高い原子炉です。この原子炉は、真空ポンプ、ステージ、ソースの機能を組み合わせたオールインワンのプラズマ処理装置で、完全なエッチングまたは蒸着技術を提供します。AKT Endura IIは、安全性、再現性、プロセス制御、精度を向上させ、プロセスを確実に実行できる複数の保護および制御システムを備えています。AMAT Endura IIは、1 x 10-7mbarのベースプレッシャーを備えたプレミアムガスタイトステンレス真空チャンバーの6陰極システムを備えています。チャンバーには革新的な真空ポンプ歪み制御ユニットが装備されており、ポンプ速度が変更されても真空の完全性を維持するのに役立ちます。これは、ハイスループットを必要とするプロセスに特に役立ちます。さらに、最大負荷44kgのレイダウンウェーハステージにより、幅広いウェーハローディング構成が可能です。Endura IIは、最大160MHzの周波数を持つRFジェネレータと300ワットの合計電力を備えています。このジェネレータは、CVD、 PECVD、 RIEなどの高性能な治療を実行する能力をユーザーに提供します。また、高度なモニタリングと診断機能を備えた高度なフィードフォワード・コントローラも装備されています。このモニタリングマシンを使用すると、プラズマパラメータをより高い精度と精度で調整および維持できます。また、APPLIED MATERIALS Endura IIリアクターには、無線周波数マッチングネットワークと外部電圧スイープ機能が含まれています。これらの機能は、異なるプロセス開発活動のためにプラズマラボをカスタマイズする能力をユーザーに提供します。さらに、原子炉は最先端のユーザーインターフェースツールと統合されており、ユーザーはプラズマ生産を改善するためにジョブレシピを素早くカスタマイズして調整することができます。AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIリアクターは、高度なユーザーが幅広いプラズマ治療を探索することができる高度な機能と機能の完全な選択で構築され、洗練されています。AKT Endura IIのユーザーは、原子炉の革新的な技術と動的制御を活用して、最高の解像度と再現性を実現することができます。