中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315356 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、様々な基板蒸着プロセスに使用されるバッチ型、生産グレード、高度なPECVD（プラズマ強化化学蒸着）原子炉です。AKT Endura IIリアクターは、均一性と精度を向上させた高性能な高度な成膜を提供するユニークな設計を持っています。この装置は高度にモジュール化され、カスタマイズ可能であり、基板のサイズと堆積要件に応じて幅広い構成を提供します。AMAT Endura IIは、高解像度LCDタッチスクリーンインターフェイスやスマートユーザーインターフェイスなど、さまざまな性能向上機能を提供しています。アプライドマテリアルズEndura IIはまた、2つの独立したRFジェネレータを使用して、フィルムの均一性を高め、多角形の形状アーティファクトを低減し、蒸着プロセスの選択性を高めるという点で、プラズマの最適なチューニングを可能にします。さらに、エンデュラIIは、基板の完全性を向上させ、沈着チャンバーの寿命を延ばす効果的なin-situ洗浄を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、円筒形のポリシリコンチャンバーを使用して、より均一なガス分布を提供し、プラズマプロファイルを改善し、より高い放電率でより大きな基板を堆積させることができます。このユニットには、最大4つのガス入口を含むガスマニホールドが含まれており、複数のガス蒸着プロセスを可能にし、3つのオプションの高エネルギーイオンキャノンが付着促進に使用されます。原子炉には自動制御機が装備されており、再現性とプロセス制御の向上に役立っています。高度な制御アルゴリズムは、ユーザーインターフェイスで利用可能なパラメータの大規模な選択と相まって、ユーザーはプラズマリアクタントを所望の状態に調整することができ、プロセス中の制御のより大きな程度を可能にします。AKT Endura IIは、ユーザーにさまざまな利点を提供する汎用性の高いツールです。ガス分散の増加と均一性の向上に加えて、複数のガス入口およびin-situクリーニングオプションにより、堆積プロセスの費用対効果が高く再現性の高いソリューションを探しているメーカーにとって理想的なソリューションとなります。