中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315104 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9315104
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2017
Metal PVD system, 12" 2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIリアクターは、半導体デバイスの製造における最先端のソリューションです。この原子炉は、堅牢な窒化物および誘電膜を開発するための2段階の不活性ガスシャワープロセスを備えています。このプロセスは、デバイスのパフォーマンスと信頼性を向上させると同時に、欠陥を低減するのに役立ちます。この原子炉は、加工環境に合わせて調整された高効率の熱管理装置を使用し、正確なプロセス制御を可能にします。この技術は、基板表面全体にわたって均一な温度を達成するのに役立ち、最適化された堆積とエッチング結果を可能にします。リアクタには、高度なコンピューター制御グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が装備されています。これにより、オペレータは簡単に原子炉の設定にアクセスし、最適な結果を得るためのパラメータをカスタマイズすることができます。AKT Endura II炉は、高効率加熱システムを利用した高流量炉を有しています。これにより、基板表面全体で均一な温度を維持しながら、プロセスへの高温ガスの迅速かつ効率的な供給が保証されます。この設計は、熱勾配を低減し、基板上の堆積均質性を向上させるのに役立ちます。さらに、効率的なガスの使用は、原子炉の寿命にわたって低い運用コストをもたらします。AMAT Endura IIには低放出プラズマ源が搭載されており、プラズマ強化沈着時の粒子生成を低減します。これにより、汚染のリスクを最小限に抑えながら、高品質の多層スタックのプロセスを最適化します。この原子炉はまた、プロセスが完了した後に基板の直接冷却を確実にするために、オプションの基板着陸室(SLC)を提供しています。さらに、原子炉には複数のin-situ diagnosticsが装備されています。これらの機能は、原子炉の性能を監視し、プロセス・アップ時間を短縮し、メンテナンス・コストを削減するのに役立ちます。全体的に、Endura IIの原子炉は最先端の窒化物および誘電体のフィルムの沈殿の単位です。このマシンは、高度な熱管理とプラズマ源だけでなく、複数のin-situ診断を備えています。この革新的なツールは、プロセス制御と効率を改善しながら、欠陥を低減するのに役立ちます。アプライドマテリアルズEndura IIリアクターは、堅牢で信頼性の高いデバイスを開発するための優れた能力を提供し、半導体デバイスの製造に最適です。
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