中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315103 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、金属や誘電体を基板に堆積させるために設計された化学蒸着炉です。このタイプの原子炉は、精密な厚さと温度で材料の完璧なフィルムを作成することができるため、半導体デバイス製造で一般的に使用されています。AKT Endura IIは、成膜プロセスを特定のアプリケーションに最適化するための多数のカスタマイズ可能なコンポーネントを備えています。AMAT Endura IIは、2ゾーンの垂直バッチCVD原子炉です。さまざまな温度、圧力、ガス流量で動作するように設計されており、特定の品質、スループット、およびコスト要件を満たすように構成される幅広いプロセスウィンドウを可能にします。原子炉のデュアルゾーンは、有酸素分離されており、独立してまたは同時に操作することができ、堆積プロセスにおけるより汎用性を可能にします。これは、ゾーン長も手元のジョブに合わせて調整できるという事実によってさらに強化されます。AEt Endura IIは、沈着中に基板を固定するためにさまざまなサセプターを使用します。これらのサセプターは、単一のウェーハ、複数のウェーハ、および基板のさまざまな形状とサイズを保持するように設計されています。また、調整可能なエレベーターを備えているため、機械を停止することなく、プロセス中に基板をロードまたはアンロードすることができます。加えて、アプライドマテリアルズのエンデュラIIは、作業者の安全を最適にするための幅広い安全機能も提供しています。これらには、不活性ガス環境、冷却および絶縁された内部、およびガス制御システムとチャネルに接続された緊急停止装置が含まれます。このユニットには、ガスの温度と流れを制御する排気装置、温度オーバー制限アラーム、リモートPCに接続された機器制御ツールも含まれています。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、さまざまなハイテク用途に信頼性の高い成膜結果を提供できる高度なCVD炉です。そのカスタマイズ可能な機能の範囲は、プロセスの正確な最適化を可能にし、安全性の機能の多数は、商業用の安全で信頼性の高い原子炉になります。