中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315099 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、半導体および関連材料の製造用に設計された高性能の金属-有機化学蒸着（MOCVD）原子炉です。これは、結果として得られる材料の効率的な生産と最適な制御を確保するために、高度な機能の数が装備されています。AKT Endura IIリアクターには、処理用の2つのチャンバー、プレデポジションチャンバーとプライマリデポジションチャンバーがあり、それぞれ独立したMFC制御熱環境を有しています。これにより、迅速かつ正確な温度制御が容易になり、均一で安定した堆積が得られます。プレデポジションチャンバーには、MOCVD材料のより効率的な取り込みのためにチャンバー壁を準備するための循環的なスパッタ洗浄プロセスもあります。AMAT Endura IIは高度なセラミックプラッタ設計を採用しており、異なる基板構成を簡単に数分で切り替えることができます。さらに、プラッタの均一な加熱と冷却により、すべての基板が同じ熱条件を経験し、基板内の追加の応力または材料沈着を防止します。APPLIED MATERIALS Endura IIリアクターは、静電気対策、汚染を最小限に抑える掃除機能、さまざまな安全インターロックなど、さまざまな安全対策を備えています。これにより、オペレータの安全性を確保し、材料の沈着のためのプロセスチャンバー条件を最適化します。Endura IIリアクターは、さまざまなプロセス制御およびデータ収集システムを提供し、ウェーハの温度、ガスの流れ、圧力測定のリアルタイム監視を容易にします。これにより、ユーザーは実際のプロセス条件を継続的に評価し、必要に応じてパラメータを調整して精度と効率を維持することができます。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、堅牢な設計、高度な基板処理機能、高度なプロセス制御および監視機能を備えた高度なMOCVDリアクタです。これらの機能により、ユーザーは効率的で正確な方法で、非常に効果的な半導体および関連材料を生産することができます。