中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315098 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9315098
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
System, 12" Process: Metal 2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactorは、半導体、低k誘電体、ナノファブリケーションプロセスにおける薄膜などの成膜に使用される化学反応室の一種です。この装置は、蒸着プロセスを正確に制御できる、ほぼ連続した一連の蒸気パルスを生成できる独自のポリゴン源を備えています。このシステムには、高度な線形スキャン機構と柔軟な反応チューブを備えたシングルゾーン拡散チャンバが装備されています。これにより、すべての堆積条件を正確に制御し、プロセス中の最高レベルの性能を確保することができます。AKT Endura II Reactorは、高度な自動マテリアルハンドリングユニット、直感的なユーザーインターフェイス、複数のリアクタモジュールをサポートできる冗長電源など、さまざまな高度な機能を備えています。このマシンには、リアルタイムプロセスの追跡と資産の自動化に使用できるリモートでプログラム可能な中央ツールコンピュータも装備されています。これにより、AMAT Endura II Reactorを使用する際に最高レベルのプロセス保護と生産性が保証されます。また、様々な工程に対応するため、部品の迅速な再構成と操作が容易に行えるように設計されています。この装置はまた、熱予算制御範囲、均一な電力伝達性能、自動安全中断、およびその他の追加機能など、物理的なパラメータの範囲を広げています。これにより、材料の選択、プロセスの最適化、およびその他の要件の柔軟性が可能になり、すべての蒸着プロセスで最高品質の結果が得られます。アプライドマテリアルズEndura II Reactorは、最先端の薄層蒸着プロセスの要求に応えるために設計された高精度で信頼性の高いシステムです。独自のポリゴン源により、すべてのプロセスが完全に最適化され、柔軟な反応チューブが最高レベルのプロセス保護と制御を保証します。直感的なユーザーインターフェース、冗長電源、高度なマテリアルハンドリングユニットを備えたEndura II Reactorは、あらゆる半導体、低k誘電体、ナノ加工プロセスに最適なツールです。
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