中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9314715 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは誘電体、金属、およびケイ化物の沈着のために設計されたPECVD装置です。このシステムは、RTPチャンバで最大400°Cの温度で4インチウェーハを処理できます。AKT Endura IIリアクターには専用の積み下ろしステーションと補助装置があり、基板温度とレシピ制御が可能です。プロセスチャンバー、プロセスヘッド、ベースステーションで構成されています。プロセスチャンバーは、石英壁と蓋を備えた8インチのシングルウェーハプロセスチャンバーで、シリコン、絶縁、導電材料の加工が可能です。プロセスチャンバーは、ターボポンプターボVアドバンスTMポンピングユニットを使用して、サイクルタイムと信頼性を向上させます。また、TemperFloTMプログラム可能な温度コントローラを備えており、反応室内の温度を維持します。AMAT Endura IIマシンのプロセスヘッドは、基板とプロセスガスにエネルギーを供給する5つの電極のセットが含まれています。蒸着反応に供給される総電力は6。75 kWです。ヘッドは柔軟性とシーケンスされた原子炉操作のために設計されており、複数のプロセス手順を順次実行することができます。Endura IIツールのベースステーションは、すべての原子炉の操作のコントロールパネルとして機能します。これには、レシピ制御、温度制御、ガスの分布のための7つのプログラム可能な入力とモードのシリーズが含まれています。このアセットには、プロセス操作中にチャンバーの状態を監視するためのCCD/カメラも備えています。アプライドマテリアルズ（APPLIED MATERIALS） Endura IIリアクターは、誘電膜、金属、およびケイ化物を必要とする半導体プロセスを含む幅広い用途向けに設計された先進的な成膜ツールです。生産性が高く費用対効果が高いため、プロセスエンジニアは高い歩留まりと最適化されたサイクルタイムでプロセスを開発および維持できます。