中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9293625 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高度なCVD（化学蒸着）プラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。AKT Endura II PECVDリアクターは、最高のプロセス均一性と最高の蒸着率を確保するように設計されており、使用時の歩留まりが改善されています。AMAT Endura II PECVDリアクターは、無線周波数電力を使用してプロセスチャンバー内でプラズマを生成し、プラズマはチャンバーに注入された前駆体ガスによって活性化されます。活性化された前駆体ガスを使用して、酸化物、窒化物、ポリシリコンなど、さまざまな薄膜を堆積させることができます。これは、基板表面に薄膜として再構成され堆積される前駆体の分子の熱解離または非熱解離によって達成されます。Endura IIのプロセスチャンバーは、異なる製品サイズ、材料、基板構成に対応するように構成することができます。応用材料Endura II PECVDリアクタは、バッチチャンバー、水平チューブ、垂直チューブなど、いくつかの構成で利用できます。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、チャンバー全体に均一なガス分布を確保し、基板全体に均一な蒸着を可能にするガス分配システムも備えています。チャンバーには、チャンバー内の無線周波数分布を均一にするRFコイルも装備されています。AKT Endura IIの高度な発熱体は、チャンバー内の急速な起動と均一なプロセス温度を確保するように設計されています。これは、反応が正しく行われ、所望の薄膜が高精度で堆積することを保証するのに役立ちます。AMAT Endura IIはまた、プロセスの精度と再現性を高めることができるいくつかの高度な制御オプションを提供しています。これらの機能には、エンドポイント制御、パージ拡散、および正確なプロセス最適化を可能にするプログラム設定編集機能が含まれ、再現可能なプロセス結果が保証されます。Endura II PECVDリアクターは、優れた蒸着性能と均一性を提供する信頼性が高く、使いやすいツールです。このPECVD炉は、マイクロエレクトロニクス、MEM（マイクロエレクトロメカニカルシステム）、フラットパネルディスプレイ、高度なパッケージングアプリケーションなど、さまざまな困難な生産環境での使用に適しています。