中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9274818 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、広範囲の材料および基板上で大規模なエッチングおよびエッチング関連作業を行うように設計された先進的なプラズマエッチング炉です。この原子炉は、大量の工業プロセス、ならびに研究開発および教育実験室の設定で使用されるように設計されています。AKT Endura IIは、ペデスタルマウントローディングプラットフォームと真空エンクロージャを備えており、ウェハやターゲット固有の基板の簡単な積み降ろしを可能にします。この設計により、同じエッチング操作に含まれるさまざまなプロセス間で部品や部品を簡単に移行することができます。AMAT Endura IIは、プロセスを完全に制御するために不活性ガスや他のエッチング可能なコンポーネントで満たすことができる低圧プラズマチャンバーを備えています。この原子炉には、エッチング性能を最適化するために複数のガスストリームを混合することができるハイブリッドガスシステムが含まれています。また、蒸着圧力、チャンバー圧力、エッチング量を精密に調整し、エッチングプロセスをさらに調整することができます。さらに、原子炉は、エッチング工程特性を測定および追跡するための統合質量分析計を備えています。アプライドマテリアルズEndura IIは、RF（無線周波数）およびICP（誘導結合プラズマ）技術を使用して、幅広い材料に高いエッチング速度と均一なエッチング性能を提供します。その高度なパワー制御メカニズムにより、プラテンとガスシステムの両方の独立したDCバイアス制御が可能になり、ウェーハ全体の均一なエッチング深さと均一性が保証されます。これにより、大量生産で再現性と信頼性の高いエッチング結果を得ることができます。Endura IIチャンバーは、複数のウェーハを同時にエッチングするために使用できるスペースがたくさんあります。これにより、パターニング、クロスリンク、インプラントなど、複数のプロセスステップを単一のエッチング操作に統合できます。この原子炉には、エッチング処理を監視し、プロセスのリアルタイム写真を表示するビデオイメージングシステムも含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIの動作温度範囲は、真空または窒素大気条件下で室温から1000°C （1800°F）までです。この高い動作温度範囲により、素材の迅速な加工が可能となり、加工時間が短縮され欠陥が少なくなります。さらに、プログラム可能なレシピパラメータを含む高度な自動化を備えており、セットアップと起動に必要な労力と時間を削減します。全体として、AKT Endura IIは、大量の工業プロセスのニーズに対応するように設計された先進的なプラズマ融合エッチング炉です。その堅牢な設計、高度な制御メカニズム、および高い動作温度範囲により、優れた性能で効率的かつ再現性のあるエッチング操作を可能にします。