中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9274814 を販売中
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ID: 9274814
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
MOCVD System, 12"
EFEM
TM
TxZ
(2) PCII
(2) IMP
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは先端材料の製造に使用される最先端の原子炉です。それは産業適用の範囲で加えることができる高いスループット、低い欠陥密度のフィルムおよびコーティングの生産のために設計されています。AKT Endura IIは、電子ビーム、熱蒸発、スパッタリングなど、複数の生産チャンバ、原材料、成長プロセスを組み合わせた並列加工真空蒸着ツールです。広い波長と入射角にわたって、蒸着速度、酸化物厚さ、酸化物/金属比、光定数分布を精密に制御することができます。さらに、AMAT Endura IIはプロセス監視に二次イオン質量分析法(SIMS)を使用し、フィルム特性評価には光学分光法を使用しています。また、高度なオートメーション、真空ゲージ、デジタルコントローラ、およびデータ通信ポートが装備されています。APPLIED MATERIALTS Endura IIには20チャンバークラスターがあり、直径4インチまたは直径6インチまでの基板に対応できます。Endura IIの原子炉は高いレベルのプロセス柔軟性および優秀な均等性機能を誇っています;チャンバー間温度均一性は¼°C以下で、蒸着速度の均一性は従来のバッチ蒸発器の最大6倍です。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIのプログラム可能な堆積プロセスと、個々のクラスタのパラメータをエンコードする機能により、特殊なプロセスノードが実現します。AKT Endura IIは、将来のアップグレードの余地のあるモジュラー設計、低い運用・保守コスト、従来の処理システムと比較して優れたコスト効率など、幅広い利点を提供します。さらに、スケーラブルなスループット容量により、AMAT Endura IIは基板数と総工程時間の特定のアプリケーション要件を満たすことができます。要約すると、APPLIED MATERIALTS Endura IIは、生産の柔軟性と欠陥を最小限に抑えるために設計された最先端の高スループット炉です。Endura IIは、業界をリードする機能を備え、数多くの産業用途向けの先端材料を製造するための信頼性の高い強力なツールです。
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