中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270655 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、幅広いエッチング用途で使用される先進的な反応イオンエッチング装置です。アルミニウム、銅、シリコン、サファイア、窒化ケイ素などの材料を正確にパターン化、エッチング、陽極酸化するために使用されます。AKT Endura IIは、高度なキセノン駆動の誘導結合プラズマ（ICP）源を使用して、システム全体に均一なプラズマ分布を生成し、精密なエッチングを保証します。このプロセスは、並列プレートアーキテクチャと独自のCPU （Computerized Processors Control）ユニットに基づいています。AMAT Endura IIは、浅い異方性エッチングから深い等方性エッチングまで、幅広いエッチング処理が可能です。また、エッチング工程で正確な温度制御が可能なフラットウェーハチャックと、片面または両面エッチングを行うためのプログラム可能なチャンバーを備えています。また、インテグラルリアクティブイオンエッチングや入江エッチングなどの最先端エッチング技術も搭載しています。この特許技術は、多結晶材料に最適な効率的なエッチングプロセスを提供します。Endura IIには、メインチャンバー、ロードロックチャンバー、スロットルバルブが装備されており、ガスや材料の損失を最小限に抑えるように設計されています。最大5つのウエハを収容可能で、生産レベルのエッチング用途で便利で効率的なツールです。ウェーハ温度や圧力などのリアルタイム動作パラメータを備えており、エッチング工程を監視し、必要に応じてパラメータを調整することができます。さらに、APPLIED MATERIALTS Endura IIには、高精度でサブアングストロームのエッチングを正確に検出するための高度な二次イオン質量分光（SIMS）ツールが搭載されています。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、半導体業界から光学・エレクトロニクス業界まで、さまざまな業界で精密かつ正確なエッチングプロセスを実行するための理想的なツールです。その高度な技術は、精密なエッチングと均一なエッチング歩留まりを保証し、エッチング業界において非常に貴重な資産となっています。