中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270654 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは半導体製造に使用される原子炉です。これは、AKTとAMATによって開発および製造されたEnduraシリーズの最新かつ最先端の原子炉モデルです。AKT Endura IIは、半導体基板に薄膜コーティングを堆積させるために使用されるプラズマ強化化学蒸着炉(PECVD)です。この原子炉は、プロセス室とターボポンプを原子炉本体に統合したユニークな設計を特徴としています。これにより、コンパクトで効率的な設計が可能となり、設置面積を最小限に抑えることができます。AMAT Endura IIは、半導体基板にさまざまな化学およびろ過媒体を使用して、さまざまなコーティングを堆積するように設計されています。また、幅広いプロセスガス化学製品を提供しています。この原子炉は、最大6インチ(15。2 cm)の基板に対応でき、最大処理速度は2000ウェーハ/時間です。遠隔システム監視用の高度なソフトウェアも搭載しています。詳細なレポートとアラートを提供することで、プロセスの制御と最適化を保証します。さらに、リアクターは、楕円測定、反射測定、X線反射測定など、さまざまなポストプロセス測定に対応しています。アプライドマテリアルズEndura IIは、コンピュータ制御の自動アルゴリズムによって接続された統合ポンプ、プロセスチャンバー、およびその他のコンポーネントによって駆動されます。これにより、最高の温度と蒸着均一性が確保され、基板への熱損傷のリスクが低減されます。原子炉はまたプロセス部屋の速く、有効なクリーニングを可能にします、従ってプロセスは絶えず最適化されます。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、精密な沈着とプロセス制御を必要とする半導体アプリケーションに最適な選択肢です。これは、汎用性の高い高品質のPECVD炉を必要とする人々のための費用対効果が高く、信頼性が高く、技術的に高度なソリューションです。
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