中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270653 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、基板上にさまざまな材料の薄層を形成するために使用される化学蒸着（CVD）炉です。この原子炉は、加熱されたチャンバーからサポートおよびトランスファー部品まで、コンピュータ制御された電気機器まで、複数の「層」で構成されています。加熱チャンバーは、AKT Endura II原子炉の心臓部です。それは内部および外の部屋が付いている円筒形のステンレス鋼の容器です。外の部屋の壁は温度を維持するために絶縁材によって並べられます、内部の部屋の壁はヒーターとして機能する陶磁器のサセプターと並べられます。サセプターは1200°Cまで温度に達することができ、材料層の異なった厚さを形作るために独立して制御することができます。このチャンバーには1つまたは複数の特殊ガス入口があり、堆積プロセスで使用される化学物質やガスの導入を可能にしています。AMAT Endura IIのサポートおよび転送メカニズムは、チャンバーへの効率的で信頼性の高い基板移動のために設計されています。通常、チャンバーの反対側にあるトラックテーブルには、チャンバとトラックテーブルの間で基板を迅速に転送するローラーシステムがあります。反応濃度、温度、圧力、およびプロセスガスの流れはすべて電子的に監視され、調整されます。アプライドマテリアルズEndura IIは、ハイブリッド直流/無線周波数パワーユニットで動作します。成膜工程の制御性を高め、成膜された層の温度、均一性、厚さを正確に調整することができます。内部コンピュータツールは、電流と電圧を監視および調整し、プラグ温度、チャンバー圧力、堆積層パラメータなどの資産変数を監視および記録します。Endura IIリアクターは、高温堆積層の生産のために特別に設計されています。金属半導体、金属絶縁体、シリコン誘電体など様々な材料を、それぞれ優れた均一性と選択性で製造することができます。原子炉の高度な電気モデルにより、層の形成を正確に制御することができ、オペレータは定義された材料層を短時間で作成することができます。