中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9237854 を販売中
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ID: 9237854
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
PVD System, 12"
Process: AlCu Depositon
FI
SMIF System: (3) Load ports
Mainframe
(6) Chambers:
(2) HP AL
(2) DS TTN
(2) Degas
Handler system:
FI YASAKAWA Robot
Buffer XP robot
Transfer XP robot
Accessories:
DI MAX
Equipment rack
(2) Compressors
(2) Generator racks
2013 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、半導体および関連産業で使用される最先端のウェーハ処理炉です。ウェーハの効率的で正確で信頼性の高い処理を可能にするように設計されています。この原子炉は、誘導加熱装置、ガス供給システム、真空チャンバー、RF発電機、冷却ファン、プラズマ発電機、熱分解グラファイト原子炉(PGR)シールドなど、いくつかの異なるコンポーネントで構成されています。誘導加熱ユニットは、特別に設計されたコイルを使用して、ウェーハを所望の温度に急速に加熱してプロセスを実行します。ガス配達機械は窒素、酸素、アルゴンおよび他のより簡単な分子を含むことができるプロセスで使用されるガスを提供します。真空チャンバは、チャンバ内で一定の真空圧力を維持し、効率的なウェーハ処理を可能にします。RF発電機は、プラズマ発電機を起動するために必要な無線周波数電力を生成します。気体がチャンバーに注入されると、プラズマ発生器は強力なプラズマ場を作り、ガスの結合を破壊し、エッチング、蒸着、アニール、成長などのさまざまなプロセスを実行するために使用できるプラズマ種を形成します。冷却ファンはPGRシールドを一定温度に保ち、熱による損傷からウェーハを保護します。最後に、原子炉は温度、圧力、RF力、ガスの流れおよび均等性のような変数を測定するのに使用することができます。全体として、AMAT/AKT Endura IIは、効率的で正確な処理を提供する高度で信頼性の高いウェーハ処理炉です。精度とスピードを重視する半導体業界のプロフェッショナルに最適です。その様々な機能のおかげで、それはまた、エッチングなどのプロセスのための効率的かつ安全なオプションです、成膜、アニールや成長。
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