中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9236846 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIリアクターは、半導体デバイスの製造に使用される次世代エッチング処理装置です。高精度な機能を持つデバイスを実現するために、さまざまな基板から材料を効率的に除去するために設計されています。AKT Endura IIは、金属有機化学蒸着炉（MOCVD）で、大面積の基板上に極めて均一な材料蒸着を行うことができます。その先進的な機能には、均一性を高めるマルチゾーンシャワーヘッドデザイン、マルチステージのヒートアップ/クールダウン機器、高速アニール機能、リアルタイムのレシピ編集などがあります。また、リアルタイムプロセスデータやエンドオブランデータなど、さまざまなプロセス監視機能を備えています。AMAT Endura IIには、精密フィーチャー定義のための様々な成膜およびエッチングシステムが搭載されています。Endura IIは、シリコン、リン酸インジウム、ヒ素ガリウム、サファイア、およびその他のIII-V材料を含むさまざまな基板からの金属酸化物および窒化物の非常に均一なエッチングを提供するように特別に設計されています。チャンバーは、基板からガス源に素早く熱を伝達するように設計されています。これにより、高エッチング率が可能になり、高解像度の機能につながります。APPLIED MATERIALSエンデュラIIは、毛布部分と踏面エッチング機能の両方をエッチングすることができます。ブランケットエリアエッチング速度は最大200nm/min、ステップエッチング速度は最大400nm/minです。システムはエッチング源の濃度と基板からの距離に敏感です。エッチングは、ターボ分子真空ポンプによって作成された高真空条件で行われます。このユニットには、エッチングプロセスをカスタマイズするために調整できる安全機能も装備されています。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、欠陥を最小限に抑えた高品質な表面仕上げが可能です。また、エッチング処理により、垂直方向のサイドウォールスロープと均一な深さが最小限に抑えられます。機械はまた非常に適用範囲が広く、維持および改善の容易さのために設計されています。そのツールは、3D構造化、微細加工、トライレイヤエッチングなど、さまざまな用途に適用できます。AKT Endura IIも優れた実績を有し、業界最高水準の歩留まりを達成しています。