中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9235244 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、研究製品およびデバイス開発用に設計された、統合された自動化された熱処理/プロセス炉です。AKT Endura IIは、半導体、MEMS、薄膜、太陽、高度なセラミックス、ナノワイヤー、一般的な蒸着アプリケーションなど、さまざまなプロセス向けに設計されています。AMAT Endura IIは、最大4インチのウェーハサイズで処理するためのフル機能のツールです。また、ポリシリコン、パラジウムケイ化物、ニッケルケイ化物、窒化ホウ素など、幅広い材料で加工することができます。この装置は、素早い基板転送、最大の柔軟性、および高速熱回復時間を提供するように設計されています。アプライドマテリアルズEndura IIは、アルゴン、窒素、アンモニア、酸素、水素、メタンなど、広範囲の不活性、還元、反応性環境ガスで動作できます。Endura IIは高解像度のタッチスクリーンインターフェイスを備えており、プロセスエンジニアはパラメータ、レシピ、および通信システムにアクセスできます。直感的なグラフィックツールにより、パラメータ管理が容易になり、プロセス設計が効率化されます。インターフェイスはCloudソフトウェアと相互接続されており、最新のプロセスレシピとSSLパラメトリックレシピにアクセスできます。また、イベントログとデータベースストレージも備えており、リアルタイムのデータ編集と分析が可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高精度のラジアル駆動が可能な高度なラジアルサセプターで設計されています。サセプターは、厚膜ダイナミックプロセス制御と外部圧力テーブルを備えた低圧アンロードされたプロセスチャンバーで動作します。また、AKT Endura IIは、独自の長寿命ウエハシャトルとグリッパー機構を備えた高度なウエハ認識システムを搭載しています。このユニットは5-L/min液体窒素冷却機で機能し、最大1200ワットの入力電力を動作させることができます。AMAT Endura IIは、冗長ゲートバルブ、過圧遮断バルブ、衝突防止保護、および複数の安全インターロックなどの高度な安全機能を備えています。APPLIED MATERIALS Endura IIには2基のRFジェネレータが搭載されており、複数の基板を壊すことなく実行できます。Endura IIは、歩留まりを改善し、サイクル時間を短縮するプロセスを最適化するための高性能で費用対効果の高いツールです。