中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9231996 を販売中

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ID: 9231996
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
Chamber, 12" 2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、CMP(化学機械平面化)プロセスの性能を向上させるために設計された原子炉です。この円柱装置はステンレス鋼からなされ、最高の耐久性および信頼性のために設計されています。この原子炉は低熱質量設計を採用しているため、原子炉の暖房や冷却を待たずに温度を素早く正確に制御することができます。最下のヒーター要素および上の開いたデッキの両方の精密な温度調整を可能にしている間すべて。AKT Endura IIには、層流設計原理を利用して基板表面全体に均一な温度分布を作成するCMP反応チャンバーがあります。これは、均一なプロセスを確保し、欠陥を軽減するのに役立ちます。このチャンバーには、高精度な多層材料平面化を実現するように設計された拡散モードのウェハキャリアも組み込まれています。リアクターのウェーハキャリアはまた、一貫した結果を得るために簡単な機械的ウェーハのローディングを提供します。AMAT Endura IIには、安全で効率的なプロセスを保証するためのさまざまな安全機能も含まれています。蓋を閉めたときに固定するフェイルセーフ蓋メカニズムを備えています。これにより、運転中の有害物質の漏洩を防止し、原子炉とその乗員に余分な安全層を提供します。また、原子炉にはユーザーインターフェイスがあり、どこからでも原子炉を遠隔操作できます。これにより、オペレータは原子炉室にいなくてもプロセスを監視することができます。APPLIED MATERIALS Endura IIは全体的にCMP性能を向上させ、高解像度を実現する優れたオプションです。原子炉のCMP反応チャンバは、精度と均一なプロセスを作成するように設計されていますが、安全機能により安全で効率的な動作が保証されます。ユーザーインターフェイスにより、原子炉は監視プロセスを簡単かつ便利にします。
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