中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9231975 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactorは、先端技術ノードの精密処理用に設計された次世代半導体プロセス・ツールです。業界で最も要求の厳しい3D NANDアプリケーションで優れたパフォーマンスと均一性を提供します。この原子炉は、サイクル時間を短縮しながら、スループットを最大化し、精度を確保し、欠陥を最小限に抑えるように設計されています。この原子炉は統合されたプロセス・フローをサポートしており、エッチング、蒸着、アニーリングのレシピをより迅速かつ正確に行うことができます。AKT Endura II Reactorは、コンパクトでワンピース、ツールフリーの設計により、迅速かつシームレスな設置が可能です。このオープンアーキテクチャ設計により、お客様のニーズを満たすために必要な追加ハードウェアのインストールが簡素化されます。この原子炉は、信頼性の高い運転を提供する堅牢なリニアドライブ技術により、パフォーマンスの優位性を提供します。さらに、独自の浸食装置を備えており、さまざまな厚さと組成の基板よりも高いエッチング精度を可能にします。この原子炉は高度なプロセス制御を備えており、正確な温度と圧力制御を可能にし、プロセスの安定性と再現性に優れています。さらに、AMAT Endura II Reactorは、適応制御チャンバーと呼ばれる統合チャンバーシステムを備えています。このユニットは追加の損失を排除し、流出率の向上、層の堆積の均一性の向上、および粒子移動の減少をもたらします。Adaptively Controled Chamberは、プロセスの稼働時間を増加させながら、より高い化学物質に関連するコストを削減するのに役立ちます。Endura II Reactorは最高の熱均一性および優秀な粒子制御のために設計されています。これは、高度なプラズマフローとフィールド物理シミュレーションを利用した革新的な熱伝達設計によって達成されます。この原子炉は、高度な加熱技術を活用した堅牢なプラズマ加熱機を備えており、表面温度の凹凸の影響を効果的に管理し、ウェハ全体の均一性を向上させています。また、独自のガスフロー制御技術を活用し、ダウンタイムを最小限に抑えながら最適なプロセス性能を維持します。アプライドマテリアルズEndura IIリアクターは、最先端のテクノロジーノードと製造手順に完全に準拠しています。この原子炉は、非常に高いアップタイムと信頼性の高いプロセスを提供する資本設備です。この費用対効果の高いツールは、3D NAND、成形、誘電蒸着、反応イオンエッチング、金属蒸着などの高度なプロセス技術に最適です。