中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9200861 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、低コストの半導体加工のために特別に設計された原子炉です。シリコンなどの基板に高度な金属、合金、酸化物などの材料膜を均一に堆積させるために設計されたシングルウェハベースのバッチリアクタシステムです。それは高度の精密プロセス制御のためのカスタマイズ可能なプロセスパラメータが付いている熱い版の基づいた真空の沈殿のプラットホームです。AKT Endura IIリアクターは、ガスインジェクタと基板ヒータープレートを組み合わせた高さ調節可能なソースを備えたユニークな設計で、広い領域での材料とガスの均一な堆積を可能にします。高度な技術を駆使して均一な厚みをさらに分散させ、一貫した精密加工を実現しています。内蔵の超高真空チャンバーは、純粋な蒸着環境を作成するのに役立ちます。専用コントローラにより、圧力、温度、流量などの処理パラメータを微調整でき、堆積層の厚さと均一性を正確に制御できます。運転中、原子炉は、蒸着材料のプラズマを作成するために無線周波数（RF）電源を利用しています。このプラズマは、誘導結合されたチャンバーで作成され、主加工室に注入され、基板表面に正確に堆積されます。基板チャンバーに接続されているシャワーヘッドは、バックスパッタリングや破片形成を防止しながら、材料を均一に供給するのに役立ちます。AMAT Endura IIリアクターは、生産レベルの半導体処理のための汎用性と信頼性の高いツールです。その低コスト設計は、品質を損なうことなく、操作を拡大するための経済的な選択肢となります。さらに、設計により既存の製造工程に容易に組み込むことができ、最新の半導体製造に便利なソリューションとなっています。