中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9198082 を販売中

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ID: 9198082
ウェーハサイズ: 12"
PVD System, 12" SIP/TI Chamber only SIP.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactorは、高品質の電子材料を迅速に生産するために設計された最先端の生産レベルの化学蒸着装置です。この原子炉は商業規模の生産が可能であり、業界をリードする大気熱エンクレーブ(ATE)を備えており、卓越した均一性と優れた製品歩留まりを提供します。ATEシステムは、ガス、加熱、冷却を正確に制御する4つの独立した電子加熱ゾーンを採用しています。これにより、120°Cまでの均一な温度と、毎分最大60リットル(L/min)のガス流量が保証されます。ATEユニットはまた、沈着プロセスを最適化するために反応ガスの連続的に変化する濃度を有し、金属、酸化物、窒化物などの幅広い材料の最高品質の沈着をもたらします。AKT Endura II Reactorは、3次元のエンドステートプロファイリングも備えています。このユニークな機能は、優れた均一性コントロールを備えたテラスヒーターシステムを使用しています。これにより、ユーザーは、ソフトランプを周囲の条件に合わせて、正確な温度ニーズに合わせてエンドステートプロファイルを設定できます。別々の材料を並列に堆積させるために、AMAT Endura II原子炉には、2つ以上の原子炉間でガスの流れを分割するための最大4つの機械的スプリッタも含まれています。これらは独立した温度制御を提供し、原子炉はまた、1回の実行で異なる材料の数十を生成することができます。APPLIED MATERIALS Endura II Reactorは、不活性フローと反応フローの両方を制御することができるオンボードのマスフロー制御マシンも備えています。4基の高精度マスフローコントローラと、プロセス室圧力をトリミングする圧力制御バルブを採用しています。オンボードリアクタント混合ツールは、ユーザーがガスの反応速度を正確に制御することもできます。Endura II Reactorは、ナノスケールからミクロンスケールまで、さまざまな材料に対して優れた粒度分布制御を保証します。自動サンプラーを備えており、原子炉内の複数の場所から自動的にサンプルを収集します。これにより、ユーザーは、生成される材料の品質に関する特性データを取得することができます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactorは、商業規模の生産レベルで優れた品質管理を備えた幅広い材料を生産できる先進的な最先端の資産です。このモデルは、最高の生産歩留まりが達成され、生産された材料が最高水準の品質を満たしていることを保証するのに役立ちます。
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