中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9188227 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、さまざまな材料の薄層を異なる基板に形成して堆積するために使用される高度なバッチ炉です。このシステムは、さまざまな材料で作られたターゲットを運ぶことができる高斜面、正確に調節可能なるつぼのシリーズを含む特殊な真空チャンバーを収容しています。これらのるつぼは一連のロボット堆積アームに接続されており、世界的または地域的にはるつぼの材料を基板に送ることができます。AKT Endura IIは、幅広い素材や基材向けに設計されており、素材を急速に加熱して温度を正確に制御する機能により、幅広いレシピを栽培、堆積、エッチングすることができます。また、特許取得済みの2チャンバー処理ユニットを備えており、より集中的な処理アプリケーションにプリスパッタまたはプリクリーニングステージを提供できます。AMAT Endura IIは、高周波の無線周波数誘導プラズマ源を使用して、低温で高品質で精密なエッチングと成膜を行います。また、低温での優れたアニール結果を可能にする水素ガス供給を備えています。また、エッチングパターンのアスペクト比を維持しながら、ウェットエッチング制御を向上させるヘリウムガスフィードも搭載しています。アプライドマテリアルズEndura IIは、特許取得済みの均一なスパッタリング技術を使用して、大きな基板全体に材料を均一に堆積させます。この技術は、複数のデューティサイクル電力を使用して、より一貫した堆積層を提供します。それはまた汚染物を減らし、きれいな環境を保障するために塵の粒子を除去する真空のベーキング用具を含んでいます。Endura IIは、様々な半導体材料の効率的な成長、蒸着、エッチングを可能にする最新の技術を組み合わせた先進的なバッチリアクター資産です。これは、精度と品質の層を持つ半導体デバイスを製造する企業にとって、信頼性と費用対効果の高いソリューションです。半導体材料業界に最適で、先端材料に信頼性の高い成膜プロセスを提供します。