中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9178465 を販売中

ID: 9178465
ウェーハサイズ: 12"
PVD Chambers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactorは、高度な半導体材料の精密エッチングと蒸着のために特別に設計された先進的なオールメタルリアクターです。これは、汚染のない操作のためのエアタイトウルトラクリーンチャンバー、最適化された熱プロファイル、および比類のないプロセスの再現性と生産性のための高度な制御を備えています。高温処理能力を有しており、低温熱処理から高温急速熱処理まで多種多様な処理が可能です。AKT Endura IIは、スパッタリングなどの高速プロセスのための積極的な流れのためのデュアルポンプ構成を備えており、粒子がチャンバーに入るのを防ぎ、クリーンで高純度の基板を確保します。AMAT Endura IIは、高度な統合受容体運動やin-situガス混合システムなどの高度なプロセス能力の業界標準を設定しています。最先端のモーションシステムにより、解像度が0。1 μ mと低く、12インチから200mmまでのサンプルパッケージ互換性を備えた最大8つのモーター付き位置を実現します。混合システムは安定したプロセス条件および反復可能な結果を保障します。APPLIED MATERIALTS Endura II Endura IIの可変パルスパワー技術は、包括的なプロセス制御機能を備えています。プラズマチャンバーの包括的なプラズマ監視とデータ収集により、ユーザーはプロセスパラメータを密接に監視し、以前に成功したプロセスを簡単に繰り返すことができます。さらに、完全に統合されたタッチスクリーン操作の直感的なプロセスコントロールソフトウェアにより、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高い精度で操作を簡単にプログラムおよび実行できます。これらのすべての機能により、高精度、優れた再現性、および高いスループット性能を実現することができます。これは、半導体エッチングおよび蒸着プロセスの成功の鍵です。AKT Endura IIは、高度な半導体研究と生産におけるミッションクリティカルなプロセスに理想的な原子炉です。
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