中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9167150 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高度なプロセス要件の広い範囲を満たすように設計された高性能プラズマ強化化学蒸着（PECVD）炉です。シリカ、シリコン、窒化物、酸化物などの薄膜を半導体やMEMSデバイスなど様々な用途で堆積させる最先端の原子炉装置です。AKT Endura IIリアクターは、特許取得済みのプラズマ生成および配送技術を活用した最適設計により、ウェーハ全体での正確な膜厚とより均一な堆積を実現します。このシステムは使いやすく、直感的なユーザーコントロールを備えており、オペレータはプロセス設定に素早く簡単にアクセスして調整できます。AMAT Endura IIは、最高の効率と均一性を確保するために、一連の統合診断ツールと高度なプロセスアルゴリズムを備えています。これらのツールは、リアルタイムのフィードバックを提供し、オペレータがプロセスを評価し、必要な調整を行うことができます。また、デュアル周波数、周波数間、パルス、ハイレート蒸着などの高度な蒸着技術も提供しています。Endura IIには、最も精密な基板とウェーハの均一性を確保するために、電子的に調整可能な圧力制御機が装備されています。このツールを使用すると、圧力やガス流量などのプロセスパラメータの小さな変化を補償することができます。さらに、原子炉はコンピュータ制御のビデオ資産を備えており、オペレータは正確な測定を行い、堆積プロセスの変化を観察することができます。APPLIED MATERIALS Endura IIを操作するには安全性が不可欠であり、モデルはこれを念頭に設計されています。原子炉には、従業員や機器の保護を確実にするためのさまざまな安全機能が装備されています。これらの機能には、不正な人員がシステムにアクセスするのを防ぐインターロック装置、緊急停止、および危険な状況に対する視覚的および可聴的な警告が含まれます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、最も精密なフィルム蒸着要件を満たすように設計された高度で高効率で安全なPECVD原子炉です。ユニットに付属しているツールと機能は、あらゆる薄膜アプリケーションに最適なツールです。