中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9161787 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、幅広い製品の半導体材料処理を簡素化するために設計された、高スループットのマルチウェーハリアクター装置です。このシステムは、AKT Endura Platformのスループット機能と、AMATの先進技術のプロセス再現性を組み合わせたものです。AKT Endura IIリアクターはモジュラー設計により、複数のプロセスを同時に統合し、効率的で信頼性の高い材料蒸着を実現します。この原子炉は、フォトレジストストリップ、デカム、乾式および湿式エッチング、残留物の除去、アッシング、沈着、およびその他の高度な化学など、幅広い複雑なプロセスに取り組むことができます。リアクタ部品はクリーンな環境で動作し、複数のウエハを順番に実行できます。また、均一な温度制御のためのマルチゾーン環境や、負荷とアンロード時間を削減するための高速変更ウェハチャックユニットなどの高度な機能を備えています。AMAT Endura IIは、FastFlow最大拡散コーティングにより、パターン付きおよびフラットウエハに非常に迅速な拡散コーティング処理を提供します。Endura IIリアクターは、高度なコンポーネントで構築され、オートメーション機能のフルレンジで設計されています。自動化された機能には、超高真空（UHV）環境が含まれ、安定した予測可能なプロセスを可能にするクリーンで安定した環境を提供します。複数のウェハサイズに対応する自動ウェハハンドリングマシン。ウェーハトランスファーとプロセスオートメーション用のロボットアームです。さらに、このツールには、さまざまなプロセス部品の正確な温度制御用の一連の温度コントローラがあります。アプライドマテリアルズEndura IIリアクターは堅牢で、多数の安全機能を備えて設計されています。それはいくつかの高速インターロック、プロセス中止警報、および原子炉とそのユーザーの安全を確保するための他のさまざまな安全システムを持っています。さらに、アセット内のすべてのマイナープロセスは、効果的なプロセス追跡のためにモデルの履歴ログに記録されています。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II from APPLIED MATERIALSは、材料加工コストを削減するために設計された強力で信頼性の高い原子炉装置です。モジュラー設計、高度なオートメーション機能、一連の安全機能を備えたこのシステムは、高効率で信頼性の高い材料蒸着プロセスを提供します。