中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9156594 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、半導体、高度なパッケージング、MEM、およびオプトエレクトロニクスクリーンルーム環境内のプロセス統合およびスケーリングに最適な汎用性の高いマルチツールリアクタプラットフォームです。この次世代ソリューションは、高精度、スケーラビリティ、効率性の向上を実現するよう設計された革新的でスケーラブルなアーキテクチャを備えています。AKT Endura IIリアクターは、モジュラー式のマルチプロセスチャンバー設計と、最大8つのロードポートを可能にする自動ロボティクスソリューションを備えています。汎用性の高いリアクタプラットフォームは、エッチング、蒸着、アニーリング、乾式改革、カスタムALDプロセス、プラズマ源/電力供給、プロセスレシピ開発など、幅広いウェハサイズとプロセス機能を備えています。各ポートは、原子層成分（ALD）によるエッチング、エッチング/成膜、アニール/成膜などの複数のプロセスをサポートできます。統合されたロボットソリューションにより、各ポートから処理された基板を迅速かつ効率的にロード/アンロードできます。AMAT Endura IIの先進的なプロセス制御装置には、高度なプロセス開発を迅速化し、プロセス効率を最適化するための先進的な共同プロセス制御戦略（CPC）が装備されています。CPCは、数多くのオートメーションおよびオペレータロジックアルゴリズムを使用して、製品の品質を向上させ、過渡的なプロセス状態を安定化し、プロセス指標を監視して、不均一性を軽減します。また、中央プロセス制御ステーションは直感的なユーザーインターフェイスを提供し、学習曲線と迅速な製品転送を実現します。Endura IIのオープンインターロックアーキテクチャは、比類のないタンパー防止の安全性を提供します。このシステムには、現在の安全規制に準拠した排気ユニットである安全シャットダウンインターロックが装備されており、特許取得済みの難燃装置を備えたNFPAレポートコードと完全に互換性があります。APPLIED MATERIALS Endura IIは、プロセスチャンバー、サプライキャビネット、マルチゾーン温度制御、さまざまなin-situおよびex-situプロセスガス源、RF電源、およびコンポーネントの豊富なラインナップを提供し、カスタム処理ニーズに対応します。適応可能な基板とプロセスツーリング構成は、分散処理の精度を向上させ、UVフリー、動的温度上昇、および拡張プロセス時間のロードロック機能を提供します。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高度な半導体、MEM、およびオプトエレクトロニクスのクリーンルームプロセスに最適な、効果的でスケーラブルな原子炉プラットフォームを提供します。モジュラー型のマルチプロセスチャンバー設計、最先端のプロセス制御、改ざん防止安全ソリューションにより、すべての製造アプリケーションでプロセスとユーザーの安全性、効率、拡張性が向上します。