中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9151707 を販売中

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ID: 9151707
Chamber, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは半導体製造プロセスで使用される高性能リアクターです。高精度で高性能な半導体デバイスを製造するために設計されています。この機器は、業界をリードするプロセス機能、幅広いオートメーション機能、直感的なユーザーインターフェイスを提供します。AKT Endura IIは、統合された引き込み式フロントオープニングロードポートと自動フルフィールドウェーハハンドリングソリューションを組み合わせています。これにより、最大8基の基板を同時に確実にロードおよびアンロードすることができます。また、自動ハンドリングユニットは、ナノメートル精度を実現する高速アライメントソリューションと、音響ウェハセンタリングマシンを提供します。原子炉全体の自動輸送により、プロセスの一貫した正確な再現性が保証されます。AMAT Endura IIは、原子層成膜(ALD)、物理蒸着(PVD)、化学蒸着(CVD)、エッチング、クリーニング、ストリッピングなど、成膜用の幅広いプロセスモジュールを提供しています。これにより、堆積、エッチング、クリーンの3つの一般的なプロセス工程すべてを1つのステップで実行できます。リアクターのインテリジェント制御ツールは、正確なプロセスレシピを提供し、現場でのウェーハ品質とリアルタイムのウェーハ品質の両方を測定します。これにより、プロセス条件を迅速かつ正確に調整できます。また、温度、圧力、流量などのプロセスパラメータを測定できる高度なセンサ技術も搭載しています。これにより、プロセスの正確なリアルタイム監視が可能になり、一貫性のある結果を維持し、スクラップを削減できます。APPLIED MATERIALS Endura IIのオートメーション機能は、プロセスの最大80%を自動化し、効率を向上させ、サイクルタイムを短縮できます。Endura IIは、メモリチップ、モデルオンチップ、マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)など、さまざまな半導体デバイスの高収率、効率的な製造を可能にします。自動化、精度、生産歩留まりの進歩により、半導体産業にとって非常に魅力的な原子炉となっています。
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