中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9150559 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは半導体および光電子デバイス製造用に設計された原子炉です。このシングルウエハ加工装置は、化学蒸着、物理蒸着、酸化、エッチングなど多くのプロセスを実行することができます。AKT Endura IIリアクターは、ロジック、メモリ、マイクロプロセッサ、光学デバイス、オプトエレクトロニクスデバイスなど、さまざまなデバイスの生産用に設計されています。ハイスループットの製造環境に適しています。フットプリントが小さく、タイトな生産スペースへの設置が可能であり、ダウンタイムを削減し、生産を効率的に実行し続ける低メンテナンス設計を採用しています。シングルウェーハシステムには、蒸着プロセス中にウェーハを保持および転送する非接触エンドエフェクタがあります。これにより、処理中にウェーハが汚染されず、ウェーハ位置を正確に制御できます。エンドエフェクタユニットは、直径8インチまでの基板をサポートすることができるため、最新の生産設備での使用に最適です。エンドエフェクタは、迅速な基板転送を可能にするデュアルアーム水平メカニカルプラットフォームによってサポートされています。また、ウェーハの1バッチから次のバッチへのクロス汚染を防止する自動ロードロックを備えており、最高品質の製品を保証します。このプラットフォームはまた、ガス分配機や自動安全システムなど、さまざまなサブシステムと統合されています。AMAT Endura IIには、正確なプロセス制御と再現性を提供する一連のプロセスコントローラが装備されています。これにより、均一性、均一な厚さ、再現性の点で一貫した高品質の結果を得ることができます。コントローラはリモートで管理することもでき、簡単なツールのメンテナンスとアップグレードが可能です。Endura IIリアクターには、ユーザーの安全性を向上させ、製造されたデバイスの安全性を最大化するいくつかの設計機能があります。すべてのプロセスパラメータを監視および制御し、緊急時にプロセスをシャットダウンし、オペレータが危険領域に入るのを防ぐ自動安全システムを備えています。この原子炉には、制御されていないプロセスの起動とシャットダウンを防止する安全インターロック資産も装備されており、事故の可能性を低減しています。全体として、アプライドマテリアルズEndura IIは、大量の半導体および光電子デバイス製造用の強力で信頼性の高い原子炉です。小型フットプリントと低メンテナンス設計、自動化された安全システムと信頼性の高いプロセスコントローラを備えており、高品質の結果と安全な生産を保証します。