中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9147006 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、工業用途で化学蒸着（CVD）に使用されるプロセス炉です。モジュラープラットフォーム内に収まるように設計されており、将来のアップグレードやメンテナンスのために、さまざまなコンポーネントを簡単に追加および交換できます。AKT Endura IIリアクターは、大型基板サイズを可能にする大規模加工容量を備えており、大規模生産に最適です。また、原子炉は一般的なCVD炉よりも高速に動作するように設計されており、高スループット処理が可能です。AMAT Endura IIは、異なるサイズの基板にわたって最適な温度均一性と均一性を提供するように設計されています。原子炉は、絶縁チャンバーと改良された発熱体の設計を備えた高度な暖房システムを備えています。温度の均一性と優れた発熱体のこの組み合わせは、高品質のコーティングを可能にします。さらに、原子炉は壁面からの直接加熱を可能にするホットウォール設計を採用しているため、反応室内外に基板を移動するための複雑なシャトルシステムが不要になります。遠隔光学センサを使用して温度を測定し、精密な温度制御を可能にします。このセンサは原子炉の裏側に取り付けることができ、ホットウォールシステムからの干渉を排除し、正確な読み取りを保証します。このセンサは、基板とプロセスチャンバの両方の温度レベルを測定します。これにより、基板とチャンバーが最適なコーティングプロセスのために正しい温度にあることを確認することができます。アプライドマテリアルズEndura IIは、原子炉全体のガスの流れを決定する高度なガスフローコントローラでも設計されています。これは、堆積の速度と堆積の品質に影響を与えるため、堆積プロセスの重要な要素です。コントローラーはまたコーティング層を傷つけるかもしれないCVDガスの潜在的な背部拡散を防ぎます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、CVDプロセス用に特別に設計された強力で効率的なプロセス炉です。AKT Endura IIは、モジュール設計、高スループット処理、均一加熱、光学センサーにより、均一なコーティングでコーティングされた高品質の基板を実現します。