中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9072277 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、半導体産業のために設計された最先端のプラズマエッチング炉です。この非常に柔軟で効率的なツールは、鋼鉄、シリコン、アルミニウム、銅、タンタル、ガリウム、ヒ素ガス、その他の金属や材料をエッチングすることができます。エッチング速度が高く、エッチングプロセスを正確に制御できるように設計されているため、最先端のデバイスの製造に最適です。AKT Endura IIは、半導体事業のパフォーマンスと生産性を最大化するために構築されています。その堅牢な設計は、高い均一性と精度を維持しながら、一度に最大4つのウエハを処理することができます。30〜1000 mTorrの幅広い作動圧力範囲により、多様なエッチングおよび成膜アプリケーションに適しています。AMAT Endura IIは、イオンエネルギーのアクティブなチューニングを可能にする柔軟性の高いハードウェアを備えており、超低エネルギーエッチングから高精度プロセスアプリケーションまで、幅広いエッチング処理を可能にします。Endura IIには、ユーザー定義のプロセスレシピと自動化された制御シーケンスを簡単に実行できる組み込み型の高度なデジタル制御装置が含まれています。この制御システムは、エッチプロセス最適化のための包括的なフィードバックと診断を提供します。アプライドマテリアルズEndura IIには、特許取得済みのパルスバイアスおよび多面的緩和ユニットが装備されており、エッチングおよび蒸着プロセス全体にわたって一貫したプロセス条件を保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIのオートチューニング機能により、エッチレートの精度と再現性がさらに向上します。この機能は、最も最適なプロセス設定を自動的に検出し、プロセスを迅速かつ再現的に完了させることができます。AKT Endura IIには、正確なプラズマ生成と特性評価のためのマルチチャンバープラズマプロファイリングマシンも搭載しており、再現性と高効率サイクルを実現しています。AMAT Endura IIは、半導体業界での使用に最適な効率的で精密なエッチングリアクターです。柔軟性の高いハードウェアと高度なデジタル制御ツールを組み合わせることで、最大4つのウエハを同時に処理できるため、生産作業において極めて精度の高い反復可能な結果を達成するのに理想的です。また、独占的なAKT保証およびサービス契約に裏打ちされており、最高レベルの顧客満足度を確保しています。