中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293830799 を販売中
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ID: 293830799
ヴィンテージ: 2015
Physical Vapor Deposition (PVD) system
(4) PVD Chambers
(2) Process chambers, 12", PN: 0060-03608, 0060-03609
Degas chamber
Pre clean chamber
Carrier, 12"
Wafer, 4" - 6"
Load port
Wafer carrier, 5 x 4" Wafer pocket, 4" Tray
(2) SiC Carrier (4", 6 hole) SiC Carriers
HON HAI PRECISION, Endura 2, 4" - 6P + 2" -1P SiC Tray
EDWARDS, IH600, Dry pump (IH600 MKS), Power supply: 200 - 208 V
EDWARDS, IH600 MK5, Pump, Power supply: 200 - 208 VG, 50/60 Hz
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIリアクターは、幅広いコーティング材料を堆積させるために設計された、高性能で費用対効果の高いプラズマ強化化学蒸着装置です。AKT Endura IIリアクターは、優れた均一性、接着性、垂直性を有するフィルムを堆積することができるため、高度な基板、オプトエレクトロニクス、MEMS、フラットパネルディスプレイ、生体適合性コーティングなど、さまざまな用途に最適です。システム設計の中心には、AKTの特許出願中のSmart Viewプラズマチャンバーがあります。この機能により、プラズマチャンバーの背面からの蒸着プロセスを容易に監視できます。チャンバーウィンドウが設置されているため、研究者はチャンバー全体をリアルタイムで監視できるため、堆積均一性が向上します。Smart View機能は、プロセス・パラメータが困難なアプリケーションでの沈着速度に及ぼす影響を研究者が理解するのにも役立ちます。AMAT Endura IIリアクターは、均質なサンプルまたは基板コーティングを保証するのに役立つデュアルゾーン耐熱熱装置で構成されています。2ゾーンの温度制御マシンは、作業エリア全体に均一な温度分布を確保するのに役立ちます。また、高速でクリーンスタートアップとクールダウンを提供します。原子炉には、チャンバー内のガス分布を監視し、詳細なプロセス情報を提供する反応検出器が装備されています。さらに、Adjustable RF Generator (ARG)およびLinear Sweep RF Generator (LSG)機能を備えたAPPLIED MATERIALS Endura IIプラズマリアクターは、従来のCVDシステムよりも研究者に利点を提供します。Endura IIリアクターは、Smart Viewプラズマチャンバーに加えて、最大限のプラズマ制御用に設計されています。その固定周波数と調整可能な周波数は、研究者に粒子の枯渇を減らし、プラズマの均一性を高める能力を与えます。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIには、最適な処理を保証するためにガスの混合物を監視する高精度の自動ガスシャットオフおよびガス制御ツールが装備されています。安全性の観点から、AKT Endura II原子炉は、真空インターロック資産、耐腐食性ステンレスチャンバーを装備し、低レベルの排出量で設計されています。それは悪用を防ぎ、安全で、安全な作業エリアを提供する高度な緊急監視モデルが装備されています。要約すると、AMAT Endura IIは、幅広いコーティング材料を堆積させるために設計された、高性能で費用対効果の高いプラズマ強化化学蒸着装置です。APPLIED MATERIALS ENDURA IIリアクターは、独自のSmart Viewプラズマチャンバー、2ゾーン温度制御システム、反応検出器、調整可能でリニアスイープRF generatros、ガス遮断およびガス制御ユニット、および高度な緊急監視装置を備えています。
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