中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293815284 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、誘電材料と金属材料の両方の研究および生産処理用に設計された先進的な熱処理炉です。直径8インチまでのウェーハに対応し、複数のセットアップに最適化されたモジュラー設計を備えています。装置は1300°Cの最高の可能な温度と低温および高温処理が、可能です。AKT Endura IIは、PIDと従来のフィードバックコントローラを組み合わせ、熱電対、RTD、 IR測定など様々な温度測定を行うことで、温度、圧力、ガスの流れを正確に制御することができます。プロセスサイクル中、システムは温度、圧力、およびガスの流れを監視および記録し、再現可能な結果を保証します。このユニットには、流量精度と安定性を可能にするガスフロー校正機も装備されています。さらに、AMAT Endura IIには、均一な温度を提供し、熱の勾配を低減するための高度な分散加熱および冷却ツールが装備されています。これと絶縁パッケージを組み合わせることで、エネルギー損失を最小限に抑え、汚染リスクを低減できます。APPLIED MATERIALTS Endura IIは、ウェーハ搬送に特化した、積み降ろしが容易なアセットと、効率的かつ正確なプロセス制御のための先進的な真空およびガス搬送システムを備えています。換気および冷却システムは、加熱部品の効率的な冷却を確保し、汚染リスクを最小限に抑えます。堅牢な真空モデルにより、加工前後のベーキングにかかる時間を短縮できます。Endura IIの設計においては、安全性が重視されており、圧力モニタ、インターロック、真空システムなど、複数の安全センサーやセーフガードが装備されています。高度な安全機能と細部への配慮により、原子炉の不適切な動作を回避することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高品質の薄膜材料を確実に製造するために設計された信頼性と汎用性の高い熱処理ツールです。原子炉室全体で優れた熱均一性を提供し、圧力、ガスの流れ、温度を正確に制御します。AKT Endura IIは、高度な安全機能を活用し、研究者や生産ニーズに応える信頼性と堅牢性を備えたツールです。