中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293815270 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）炉です。高kおよび低kの材料を含む高度の誘電体薄膜の沈着のために設計されています。AKT Endura IIは、ダイレクトドライブシャワーヘッド、高度なマルチポイントコントロール、および高度な封じ込めシステムを組み合わせて、ハイレベルなパフォーマンスを提供します。AMAT Endura IIは、高精度のダイレクトドライブシャワーヘッドを備えており、大きなサンプル表面に均一な成膜を実現します。また、マルチポイント制御システムを備えており、複数のポイントで正確に沈着を制御することができ、均一な沈着プロファイルが得られます。さらに、アプライドマテリアルズの高度な封じ込めシステムは、優れた排出制御を提供し、優れた環境保護を提供します。Endura IIは真空モードと過圧モードの両方で成膜が可能で、幅広い材料の成膜が可能です。High-k誘電体とLow-k材料の両方の蒸着機能により、ユーザーはさまざまな複雑なフィルムを堆積することができます。この原子炉はまた、80nmまでの銅の蒸着速度を提供することができ、高レートの蒸着を行うことができます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは優れたプロセス制御を提供します。AKT Endura IIは、高精度マスフローコントローラ（MFC）システムを使用して、フローを正確に制御し、正確なプロセス制御を保証します。さらに、原子炉には統合されたRFジェネレータが装備されており、PECVD蒸着中のプラズマパラメータを制御するために使用することができます。AMAT Endura IIは、同社のプロセス制御ソフトウェアとの互換性も高い。このソフトウェアは、ユーザーに詳細なプロセス監視と制御を提供し、原子炉の堆積パラメータを完全に制御することができます。APPLIED MATERIALS Endura IIは、高kおよび低k誘電体の精密な堆積を提供するように設計された高度なPECVD炉です。原子炉のダイレクトドライブシャワーヘッド、高度なマルチポイント制御、および高度な封じ込めシステムはすべて、優れた堆積プロファイルと環境保護を提供するように設計されています。原子炉は、真空モードと過圧モードの両方で実行するだけでなく、高レートの蒸着を行うことができます。さらに、統合されたRFジェネレータとプロセス制御ソフトウェアは、正確なプロセス監視と制御を提供します。