中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293761335 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、半導体ウェーハ表面のナノ構造の成長に使用される垂直シングルウェーハエピタキシャルリアクターです。RFやオプトエレクトロニクスなどの最新の高性能半導体デバイスを製造するように設計されています。AKT Endura IIは、高真空チャンバー、複数の温度制御ゾーン、原料の気化のための強力な遠心噴霧装置、および独自の反応ガス分配装置で構成されています。AMAT Endura IIは、1回の実行に最大6つのウェーハを収容でき、プロセスは実績のあるクローズドループ・フィードバック・システムによって制御されます。真空チャンバーは、1 mbar以下の動作圧力を実現するように設計されています。単位はプロセス周期を通して自動的に調節することができる強力な暖房が装備されています。ゾーン内の温度プロファイルは-100から1000°Cまで個別に設定できます。また、ウェーハ表面に化合物を堆積させるための4つの独立したラジアルRFアトマイザー源を備えています。Endura IIには独自の反応ガス分配機もあります。このツールは、RF活性マスフローコントローラで構成されており、ユーザーはプロセスを最適化するためにガス圧力を正確に制御および調整することができます。RF活性ガス弁アセットは、チャンバー内の圧力勾配と流動ダイナミクスをさらに制御するのに役立ちます。アプライドマテリアルズEndura IIには、ハイエンドのウェーハ回転モデルも付属しています。回転速度は0-750 rpmから調整でき、ウェーハは最大1000の重力の遠心力を受けることができます。これにより、ウェーハ全体のプロセスを完全に均一にすることができます。これらの機能のほかに、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIには、ガス監視装置、クールダウン機能、低圧センサーなど、さまざまな安全機能が搭載されています。さらに、複数のウェーハからのデータを保存および分析して統計分析できるスマートプロセスアーキテクチャを活用しています。AKT Endura IIは、SEMI規格S2およびS3レベルの両方のプロセスで認証されており、幅広い半導体デバイス製造アプリケーションに最適です。